한화세미텍이 내년 초 하이브리드본더를 출시하며, 차세대 첨단 패키징 장비 시장 주도권 확보에 나선다고 선언했다. 하이브리드본더는 미래 반도체 시장을 이끌 핵심 장비로 반도체의 성능과 생산효율을 크게 높여 향후 반도체 산업의 ‘게임 체인저’가 될 전망이다.
한화세미텍은 이달 10~12일까지 대만 타이페이에서 열리는 국제 반도체 박람회 ‘세미콘타이완 2025’에서 하이브리드본더 청사진을 담은 차세대 첨단 반도체 패키징 장비 개발 로드맵을 10일 발표했다.
개발 로드맵에 따르면 △2024년 TC본더 ‘SFM5 Expert’ △2025년 CoW(Chip-on-Wafer) 멀티칩본더 ‘SFM5 TnR’ 출시에 이어 △플럭스리스본더 ‘SFM5 Expert+’ △하이브리본더 ‘SHB2 Nano’를 내년 초 출시할 계획이다.
반도체 장비 시장에서 가장 큰 관심을 받고 있는 하이브리드본더는 고대역폭 메모리(HBM) 성능과 생산 효율을 크게 향상시킬 것으로 기대된다.
현재 HBM제조에 주로 사용되는 TC본더는 범프(납과 같은 전도성 돌기)에 열과 압력을 가해 칩과 칩을 붙인다.
이와 달리 하이브리드본더는 별도의 범프 없이 칩을 붙일 수 있어 20단 이상의 고적층칩 제조에 필수적인 장비로 평가받고 있다. 칩 사이 범프가 없기 때문에 전기신호 손실을 최소화할 수 있어 반도체 성능도 크게 향상된다.
세미콘타이완2025에서는 멀티칩본더, 플럭스리스본더, 하이브리드본더 등 주요 차세대 장비를 선보인다. 이 중 SFM5 TnR을 포함한 일부 장비는 현장에서 직접 구동 시연을 할 예정이다.
